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真空泵與真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)制造商

技術(shù)參數(shù)	單位	nEXT300
入口法蘭	"	DN100 ISO-K or DN100CF
入口抽速	l/s	300
壓縮比（D or T）	"	＞1×10¹¹
中間級(jí)抽速	l/s	13
排氣口/中間級(jí)接口/增壓口	"	NW25
放氣/吹掃口	"	1/8"BSPP
臨界前級(jí)壓力	mbar	9.5
最大連續(xù)入口流量（水冷）	sccm	95
最高允許入口法蘭烘烤溫度（僅CF、水冷）	℃	120
最大允許連續(xù)前級(jí)壓力（水冷）	mbar	6.8
前級(jí)泵推薦	"	RV12/nXDS10i
額定轉(zhuǎn)速	rpm	60000
到90%速度的啟動(dòng)時(shí)間D（T）	s	145（190）
噪音	dB(A)	＜45±3
重量D（T）ISO	Kg	5.7（6）
重量D（T）CF	8.5（8.8）

技術(shù)參數(shù)

單位

nEXT300

入口法蘭

DN100 ISO-K or DN100CF

入口抽速

l/s

300

壓縮比（D or T）

＞1×10¹¹

中間級(jí)抽速

l/s

排氣口/中間級(jí)接口/增壓口

NW25

放氣/吹掃口

1/8"BSPP

臨界前級(jí)壓力

mbar

9.5

最大連續(xù)入口流量（水冷）

sccm

最高允許入口法蘭烘烤溫度（僅CF、水冷）

℃

120

最大允許連續(xù)前級(jí)壓力（水冷）

mbar

6.8

前級(jí)泵推薦

RV12/nXDS10i

額定轉(zhuǎn)速

rpm

60000

到90%速度的啟動(dòng)時(shí)間D（T）

145（190）

噪音

dB(A)

＜45±3

重量D（T）ISO

5.7（6）

重量D（T）CF

8.5（8.8）

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nEXT300渦輪分子泵

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東莞市雅之雷德機(jī)電科技有限公司

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