真空系統(tǒng)漏氣、虛漏與抽氣之間的平衡
2019/5/6 9:59:25
真空系統(tǒng)
真空泵系統(tǒng)
雅之雷德
真空系統(tǒng)中漏氣流量的平衡表示式如下:
式中 p-系統(tǒng)達(dá)到的壓力;
Po-真空泵的極限壓力;
S-系統(tǒng)的有效抽速;
Qo-由系統(tǒng)外部流向系統(tǒng)內(nèi)部的總漏率;
EQi——虛漏所形成的總“漏”率。
所謂虛漏,其來源是多方面的,如真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)材料表面的出氣,試驗(yàn)物或工件的出氣,系統(tǒng)內(nèi)各種材料的蒸氣,氣體通過器壁向系統(tǒng)內(nèi)的滲透以及系統(tǒng)的死空間中氣體的流出等。
檢漏中應(yīng)注意區(qū)分Qo與EQi。相對(duì)虛漏EQi而言,漏氣Qo也可稱為實(shí)漏。雅之雷德機(jī)電科技:在不特別加以說明時(shí),所說的漏氣都是指實(shí)漏。
對(duì)于與真空泵隔離開的密封容器或器件(如電子管、半導(dǎo)體器件等)來說,S=O,這時(shí)若Po<p,則上式變成
式中 t-封離后所經(jīng)歷的時(shí)間;
V-密封容器的總體積;
Pt-經(jīng)歷時(shí)間£后系統(tǒng)(或容器)中的壓力;
p,Qo,Qi與上式相同。
真空系統(tǒng)最小可檢分壓力:
最小可檢分壓力反映質(zhì)譜計(jì)探頭的分壓力靈敏度和測(cè)量?jī)x器檢測(cè)離子流信號(hào)的綜合指標(biāo)。對(duì)于規(guī)定的氣體的最小可檢分壓力是檢測(cè)一個(gè)等于兩倍噪聲的離子流輸出信號(hào)(即信噪比為2)。
真空系統(tǒng)最大工作壓力:
質(zhì)譜計(jì)在不同應(yīng)用條件下允許工作的最大全壓力極限。一般這項(xiàng)指標(biāo)是對(duì)質(zhì)量數(shù)28的氮峰測(cè)定的。在定性分析中,最大工作壓力通常定義為,在該壓力下儀器的分壓靈敏度下降到線性值的一半,或定義為J十-p曲線中最大J+值對(duì)應(yīng)的p值。
某些儀器給出的指標(biāo)是儀器能指示的最大工作壓力。在該壓力下,分析器仍具有一定的質(zhì)量分離功能,離子源有一定的離子產(chǎn)額,燈絲仍可正常工作。
在進(jìn)行定量測(cè)量時(shí),儀器的最大工作壓力表征為,在該壓力范圍內(nèi)各種離子的離子流與壓力的關(guān)系均呈線性。
真空系統(tǒng)最小可檢濃度:
表征儀器對(duì)氣體混合物中所能測(cè)量的某一組分的最小值。通常用P最小/P全表示,這里,P最小為氣體混合物中某一組分的最小分壓力,P全為氣體混合物的全壓力。