化學(xué)工藝中多級(jí)羅茨真空泵的應(yīng)用

化學(xué)工藝的持續(xù)發(fā)展，特別是在半導(dǎo)體和太陽(yáng)行業(yè)中，對(duì)所用羅茨真空泵不斷地提出新的要求?；诙嗉?jí)羅茨泵的可靠技術(shù)，雅之雷德機(jī)電科技為這些行業(yè)領(lǐng)域中的苛刻工藝提供完美的解決方案。與先前泵解決方案相比，過(guò)程壓力下的氣體吞吐量、粒子耐受性和耐冷凝性已顯著提高。

與用于一般工藝系列泵一樣，用于苛刻工藝泵配備了溫度控制和惰性氣體沖洗系統(tǒng)。但是，用于優(yōu)化工藝調(diào)節(jié)的參數(shù)范圍比用于一般工藝系列泵更廣。

該泵系列是采用了該系列的另外三個(gè)型號(hào)并輔以羅茨泵用于過(guò)程壓力范圍內(nèi)提高了的抽速和氣體吞吐量。由于使用了特殊材料，這些泵的腐蝕性氣體設(shè)備使其還可使用強(qiáng)氧化劑，如 NF3。該泵廣泛的溫度范圍使其能夠適應(yīng)各種不同的工藝，如低溫下的鎢沉積或高溫下的氮化物沉積。高效的電機(jī)產(chǎn)生低壓力下的能源節(jié)約，并因其高扭矩，在泵停機(jī)后提供良好的啟動(dòng)性能。

得益于它們相同的接口和相同的介質(zhì)連接，用于苛刻工藝系列型號(hào)可與用于一般工藝系列泵理想兼容。這意味著，如果現(xiàn)有生產(chǎn)設(shè)備上發(fā)生工藝改變，通過(guò)更換泵，使用最小的安裝工作就可獲得優(yōu)化的泵解決方案。

使用第三級(jí)羅茨輔助苛刻工藝泵型號(hào)，可提供緊湊、極其強(qiáng)大的泵站，具有最大抽速，適合于 CVD 工藝。在空運(yùn)行流程泵上采用變頻控制的羅茨泵，羅茨泵在其本身的框架內(nèi)具有額定抽速 4,500 m3 · h-1。由于模塊化結(jié)構(gòu)，安裝很容易，且泵站中的各個(gè)泵可單獨(dú)取出，并在維修工作進(jìn)行的情況下進(jìn)行保養(yǎng)。進(jìn)氣側(cè)的羅茨泵變頻器允許在廣泛的氣體吞吐量范圍對(duì)過(guò)程參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，并允許各種不同的過(guò)程氣體。

雅之雷德機(jī)電科技不斷監(jiān)測(cè)行業(yè)各個(gè)領(lǐng)域中工藝的動(dòng)態(tài)發(fā)展，并在未來(lái)將繼續(xù)提供優(yōu)化的泵解決方案以滿足這些需求。

多級(jí)羅茨泵的優(yōu)勢(shì)包括：

通過(guò)調(diào)節(jié)溫度、凈化氣體吞吐量和轉(zhuǎn)速對(duì)相關(guān)真空工藝進(jìn)行理想的調(diào)節(jié)

在氣體置換區(qū)域沒(méi)有潤(rùn)滑劑

無(wú)工作液處理問(wèn)題

高可靠性和系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間

長(zhǎng)維修間隔、低能耗和冷卻水與沖洗氣體介質(zhì)消耗低，因此具有較低的擁有成本

占用空間小，在潔凈室和泵級(jí)別中具有良好的集成性和節(jié)約性

豐富的控制選項(xiàng)，本地或遠(yuǎn)程控制，集成在一個(gè)監(jiān)控網(wǎng)絡(luò)中

最小泄漏率

在腐蝕性工藝中是渦輪分子泵和羅茨真空泵理想的前級(jí)泵

認(rèn)證符合 UL/CSA 和 SEMI S2 要求