旋片真空泵在抽空工藝中的應(yīng)用

好凱德真空泵的哪些真空解決方案尤其適合抽空工藝？

容器抽空，即抽除密封容器中的空氣或氣體，是真空技術(shù)最為廣泛的應(yīng)用之一。這類應(yīng)用種類繁多。

所謂抽空，在多數(shù)環(huán)境空氣工業(yè)應(yīng)用中，一般理解為排空物理空間內(nèi)的氣體。當環(huán)境空氣或氧氣的存在對制造或測試工藝產(chǎn)生干擾時，常需要進行抽空。

根據(jù)應(yīng)用的不同，對真空度的要求也不盡相同，從中央真空系統(tǒng)要求的低真空到半導(dǎo)體生產(chǎn)硅片涂層的高真空。

容器抽空工藝應(yīng)用范圍廣泛，相應(yīng)地，此類真空泵產(chǎn)品也各式各樣。挑選真空獲得設(shè)備時，需要考慮的關(guān)鍵因素包括排氣體積以及要求達到的容器最終壓力?；旧衔覀兯械恼婵毡枚寄苓_到此類要求。

好凱德C旋片真空泵可用于許多不同的抽空工藝，因為其運行可靠且堅固耐用，表現(xiàn)最好。

好凱德爪式真空泵無油無接觸運行，基本無需維護。這類節(jié)能型真空泵用于低真空抽氣工藝。

Edwards GXS螺桿真空泵特別適合抽除腐蝕性或爆炸性氣體。GXS真空泵采用無油螺桿技術(shù)，可以達到高真空度。

如果是高真空抽空工藝，雅之雷德機電科技建議采用由C旋片真空泵或無油爪式真空泵及EdwardsEH系列羅茨真空泵所組合而成的真空泵系統(tǒng)。適合高真空抽空的其它真空泵組合還包括渦輪分子真空泵和擴散真空泵。

雅之雷德真空技術(shù)在抽氣工藝中的常見應(yīng)用范例：

真空包裝——包裝腔體抽空

容器真空系統(tǒng)——真空容器長期保持真空度

熱處理——真空爐抽空

表面涂層——鍍膜室抽空

模具排氣——鑄造質(zhì)量優(yōu)化

空間模擬——空間模擬室抽氣

傳送室——晶片生產(chǎn)

工藝室——主要用于半導(dǎo)體生產(chǎn)