這些真空泵品牌為何先后推出渦輪分子泵新品?
2021/6/20 18:13:22
真空泵品牌
渦輪分子泵
好凱德真空泵
新品
2020年12月10日,普發(fā)真空推出全新HiPace 350 和 450 渦輪分子泵,該產(chǎn)品特別適用于質(zhì)譜分析、電子顯微術(shù)、測量技術(shù)、粒子加速和等離子體物理方面的應(yīng)用。新產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域十分廣泛,除了用于分析、真空工藝和半導(dǎo)體技術(shù)外,還可用于真空鍍膜、研發(fā)以及工業(yè)領(lǐng)域。
2020年5月14日,愛德華真空發(fā)布EDWARDS渦輪分子泵nEXT 730 & 930新品。該新品有更高抽速(氮氣)——730l/s、925l/s;可360°任意角度安裝;TIC控制器可同時控制分子泵和三路真空規(guī)管;維護間隔長,用戶可自主維護;設(shè)計靈活等特點。
除了這2個品牌,安捷倫也發(fā)布了全新一代渦輪分子泵,稱該全新產(chǎn)品具有高性能、高可靠性的同時,還能做到更經(jīng)濟。好凱德新推出的一款渦輪分子泵機組,是專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計的。
這些知名真空泵品牌為何花大量時間在渦輪分子泵的新品設(shè)計和生產(chǎn)中呢?渦輪分子泵市場又有哪些新發(fā)展?
渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。其優(yōu)點是啟動快,能抗各種射線的照射,耐大氣沖擊,無氣體存儲和解吸效應(yīng),無油蒸氣污染或污染很少,能獲得清潔的超高真空。好凱德渦輪分子泵還具有較高的性價比和靈活的安裝方式,高抽速不受高負荷或雜質(zhì)氣體侵入影響。
渦輪分子泵主要應(yīng)用在半導(dǎo)體、光學(xué)、鍍膜和變壓器領(lǐng)域;同時也廣泛應(yīng)用于核物理、電真空和表面科學(xué)等領(lǐng)域。半導(dǎo)體領(lǐng)域中,分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。
由于半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展迅速,分子泵的市場拓展速度很快。
在國外,分子泵在半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來替代低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置中,用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。
隨著我國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足半導(dǎo)體等不同領(lǐng)域的個性化需求。
國外品牌已先一步推出新品分子泵以適應(yīng)快速發(fā)展的半導(dǎo)體行業(yè),相信很快國內(nèi)真空泵品牌也會有新突破。